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高纯氮气
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高纯氮气的特点和作用

2020-11-20

高纯氮气在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。


显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统需要先用高纯氮置换,再用高纯氦置换。氮气是难液化的气体。氮气在很低温下会液化成无色液体,进一步降低温度时,更会形成白色晶状固体。在生产中,高纯氮气通常采用黑色钢瓶盛放。

高纯氮气

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